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随着MEMS技术的发展,人们对微型制件的需求越来越高。采用微注射成型技术获得的微型塑件,成型精度高,稳定性好,成本低,易成型,以及其材料本身良好的物理力学特性等诸多优点,决定了其在MEMS领域中的重要地位。微小型腔的加工质量作为微注塑成型的基础,直接影响最终注塑零件的形状、尺寸和精度。与LIGA技术相比,UV-LIGA技术具有加工成本低,周期短的优势,但在加工深度,深宽比和侧壁垂直度等方面存在不足。因此,研究改善UV-LIGA技术在加工深宽比和侧壁垂直度等方面的能力,具有重要的意义。本文以氧