【摘 要】
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该研究主要针对静电力驱动下的MEMS结构的数值模拟问题进行研究分析.在进行了综合的比较之后,首先确定了用边界元法(BEM)求解静电力驱动下的MEMS结构的力电耦合问题.和前人所
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该研究主要针对静电力驱动下的MEMS结构的数值模拟问题进行研究分析.在进行了综合的比较之后,首先确定了用边界元法(BEM)求解静电力驱动下的MEMS结构的力电耦合问题.和前人所提出的有限元—边界元混合法<[1.2]>(FEM-BEM Hybrid Method)相比,用全边界元法有很多优点,如需要较少的内存和存储空间,计算所需的时间更短,只需在边界上划分二维网格而不需在整个区域内划分三维网格等等.在简述了和电场部分有关的背景知识之后,编写了边界元法计算机程序用以求解力电耦合问题,计算了几个典型的MEMS结构.通过自编程序与其他一些商业软件,如ANSYS,IntelliSuite的模拟结果的比较,说明该方法是可行有效的,从而为今后的研究提供了一个新的模拟方法和计算工具.
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