该论文全面研究了射频激励波导CO<,2>激光器的场分布、传输损耗、反射耦合损耗、位相耦合、放电技术等问题,为合理设计射频激励波导CO<,2>激光器提供了理论和实验的依据.研究了矩形波导激光器的反射镜耦合问题,详细讨论了矩形波导采用平面反射镜和球面反射镜时各种因素反射耦合系数的影响.系统地研究了波导CO<,2>激光器的射频放电技术,建立了完整的数学计算体系,解决了射频放电技术中放电均匀性和阻抗匹配两个问题.理论研究了一维波导列阵的位相耦合理论,得到一个重要结论:双脊型的互耦合系数要比单脊型的高.通过实验研究了几种具有位相耦合功能的一维和二维波导列阵.提出了一种利用整体模实现波导列阵位相耦合的全新思路,并建立了完整的理论模型.利用这一模型讨论了单脊型波导列阵实现位相耦合的条件.理论研究了几种新型的射频激励CO<,2>平板波导激光器,讨论了它们各自的特点.设计了一种具有位相耦合效果的四通道平板波导结构.建立了具有非稳虚共焦腔结构的辐射型平板波导激光器的远场输出的理论模型,并作了计算.