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钙钛矿氧化物具有十分丰富的物理和化学性质,例如铁磁性、铁电性、巨磁阻效应等,使其在存储及传感等方面都具有广阔的应用前景。因此,引起了广泛的关注。本文期望通过制备几种钙钛矿异质结,研究其电、磁特性,探索钙钛矿氧化物在存储方面的应用。本文采用脉冲激光沉积技术制备了CaMnO3/La0.7Sr0.3MnO3,TiO2/LaAlO3,以及SrRuO3/Pr0.8Ca0.2MnO3/SrTiO3(BaTiO3)/La0.7Sr0.3MnO3异质结构,优化了薄膜工艺,测量了晶体结构、点磁特性,采用微加工手段制备了相关原型器件并测试了存储功能。具体工作包括：(1)在LaA103衬底上沉积了CaMnO3/La0.7Sr0.3MnO3异质结构,原子力显微表面形貌测试表明表面较为平整,X射线衍射结果表明CaMnO3处于拉应力状态。压电力显微结果显示可以在CaMnO3表面用相反的电压形成约180°的相位衬度,振幅图上也可以观察到明显的畴壁,表明应变CaMnO3有可能具有铁电性。(2)Pt/TiO2/Pt阻变异质结构中,通过在Ti02层和Pt底电极之间加入LaAlO3层,提高了阻变性能。加入30 nm的LaAlO3层后,开关电压的不稳定性得到了有效的抑制,电阻开关比也从102提高到了103。X射线光电子能谱分析表明Ti02层中有大量的氧空位,在外加电场作用下,氧空位能够迁移到LaAlO3层中形成导电通道。TiO2/LaAlO3异质结高阻态的阻值随着LaAlO3层厚度的增加而增大,而低阻态的阻值则与LaAlO3层厚度无关,表明了导电细丝的形成与断裂优先发生在LaAlO3层中。(3)制备了SrRuO3/Pr0.8Ca0.2Mno3/SrTio3/La0.7Sr0.3MnO3全氧化物自旋过滤磁隧道结,在外加磁场下,隧道结呈现出高低两个阻态,隧穿磁电阻约为4%。用铁电BaTiO3代替SrTiO3隧穿层,在SrTiO3衬底上制备了SrTiO3多铁性隧道结,同时获得约1%的隧穿磁电阻和约100%的隧穿电致电阻。