“温室效应”、室内环境及植物光合作用等要求人们对CO2气体浓度进行监测与控制。本文以CuO-SrTiO3和CuO-BaTiO3复合金属氧化物电阻型薄膜材料为研究对象，采用溶胶-凝胶工艺，对薄膜制备过程，CO2气体敏感特性及敏感机理进行了研究。采用无机盐为主要原料，以柠檬酸为络合剂、乙二醇为胶联剂制备出均一、稳定的CuO-SrTiO3和CuO-BaTiO3薄膜前驱体溶胶。通过采用红外光谱、X衍射及扫描电镜等分析手段，对溶胶及制备的薄膜进行了研究，发现柠檬酸主要起络合金属离子的作用，乙二醇起胶联作用。实验证明，溶胶的浓度对溶胶及薄膜质量有很大影响，当溶胶浓度为0.1mol/L，可形成表面形貌好的薄膜。对溶胶－凝胶法制备CuO-SrTiO3的制备工艺进行了深入研究。实验发现，预烧和煅烧、成膜次数对CuO-SrTiO3薄膜形成有较大影响。本文对CuO-SrTiO3薄膜材料的CO2气体敏感特性进行了系统研究，发现CuO-SrTiO3薄膜具有半导体－类金属转变的导电性，在300℃以上为类金属导电性，具有非常稳定的电阻－温度稳定性。用贵金属Ag改性后，CuO-SrTiO3薄膜材料对CO2具有较好的敏感性和选择性。金属氧化物和Ag的共同掺杂，对薄膜的灵敏度和选择性有较大的提高。CuO-BaTiO3薄膜材料掺杂Sr2＋和贵金属Ag后对CO2具有较好的敏感性和选择性。最后，用吸附反应和PN结理论解释材料对二氧化碳敏感机理。