随着空间科学技术的发展，合成孔径雷达干涉测量(Interferometric Synthetic Aperture Radar，InSAR)得到了发展和应用。特别是近年来进一步发展起来的差分雷达干涉测量(Differential Interferometic SAR，D-InSAR)对于地面形变的变化非常敏感，具有高精度的地面形变测量能力(毫米级)与高空间分辨率(20米)探测能力，已经越来越广泛的应用于地表形变监测。 然而，在实际应用研究中，D-InSAR技术受到诸如去相关，噪声，自身成像几何限制等因素的影响，最终获取的形变量精度与理论值相去甚远。因此，如何提高干涉雷达数据质量，使得这项技术更好的服务于人类社会是一个值得深入研究的热点和前沿技术问题，具有明显的现实意义和使用价值。 本文首先讨论了影响干涉雷达地表形变监测质量的主要因素，并针对不同的雷达系统讨论了测量相位误差和轨道误差的传播模型。同时对上述各种主要因素提出了相应的质量改善方案。尤其是在高精度的干涉雷达复影像数据的配准和噪声滤除两个方面进行重点研究，设计了从粗匹配到象元匹配到亚象元匹配的精确配准方案和技术流程，三级滤波的噪声消除方案。文中几乎所有的算法都给出了真实数据或仿真数据的处理结果，以比较各种处理算法的优缺点。最后，对本次研究工作的内容和重要的结论进行了总结，并指出了本文研究工作的一些不足之处。 干涉雷达地表形变监测是SAR领域的一个重要发展方向，相信本文的研究工作对 D-InSAR的研究具有一定参考和应用价值。