气中电火花加工是二十一世纪的新型电火花加工方法,与普通的电火花加工不同,气中电火花在加工过程中不产生有害气体和难分解的物质,被称为绿色加工,并且具有良好的加工性能。目前对气中电火花加工技术的研究主要是常规尺度的气中电火花加工,而对于气中微细电火花加工的研究甚少,根据气中电火花的特点,本文提出了气中微细电火花加工方法。为了解气中微细电火花的加工性能,本文主要针对气中微细电火花加工技术的工艺性展开研究。首先,以传统电火花加工理论为基础,结合气中放电的原理和常规微细电火花加工的特点,对气中微细电火花加工机理进行研究,分析气中微细电火花加工与传统微细电火花的不同,对气中微细电火花加工进行可行性分析。其次,在传统的气中电火花加工研究基础上,设计管状电极内孔通气的气中微细电火花的试验装置,并利用其进行气中微细电火花加工探索试验,实现气中微细电火花加工。再次,针对所研制的内孔通气的气中微细电火花试验装置存在的不足,提出电极外侧通气的气中微细电火花加工方法,并在内孔通气的试验装置基础上研制了外侧通气的试验装置。利用该装置进行气中微细电火花加工工艺性能的试验,总结气中微细电火花加工规律,在此基础上用直径小于100μm尺度的微细电极进行气中微细电火花加工正交试验研究,分析在RC电源模式下影响气中微细电火花加工性能的主要因素。最后,针对气中微细电火花加工排屑困难的现象,根据超声辅助气中电火花加工的理论分析,进行超声振动的气中微细电火花加工试验,研究超声辅助振动对气中微细电火花加工性能的影响,并对试验现象和试验结果进行分析。