众多经济增长理论表明，技术创新是经济长期增长的重要动力，但是在这个领域，一个长期困扰人类的问题是技术创新的外部性。外部性会引起私人收益与社会收益、私人成本与社会成本的不一致，进而出现市场供应不足或过量等不良后果，影响社会技术水平的不断提高。企业的R&D活动就具有这样的性质，加上提高国际竞争力的需要，为企业R&D活动提供补贴等激励性政策成为各国政府的共同选择。我国也不例外，补贴经费逐年增长，扶持力度越来越大。各国都希望能通过激励政策诱导企业对R&D活动作出更多的投入，提高每一单位R&D补贴的产出，但却经常面临挤出效应的问题。由于价格上涨、直接替代和道德危机等原因的影响，政府的R&D补贴经常存在效率低下的问题，无法起到足够的激励作用。我国的R&D活动面临基础研究投入不足，地域投入不平衡等众多问题，作为一个发展中国家，在短期内大量增加资金投入解决这些问题并不现实，所以目前最有效的措施就是减少政府R&D补贴的挤出效应，将能够投入的资金合理分配，提高资金利用效率，而针对具体情况，选取合适的补贴力度就是解决这一问题的关键。本文将从行业、企业等方面具体分析影响政府R&D补贴挤出效应的因素，在此基础上，以中国高技术产业为例，探索政府R&D补贴最佳力度，以令企业投入达到最大，挤出效应降至最低。文中以2004-2010年高技术产业中的21个细分行业面板数据为样本，运用固定效应模型，结合行业企业特点，以企业研发投入比例为因变量，政府补贴力度、技术扩散速度、R&D人员比例、企业规模、国有企业产值比例为自变量进行多元回归分析。结果得出，对于整个高技术产业来说，政府最佳补贴力度（即政府补贴占R&D经费总额的比例）约为0.72%，小于目前实际的政府R&D补贴力度。这对我国R&D补贴政策的制定有借鉴意义。