随着地球环境的恶化和能源危机的日益凸现，光伏产业成为世界各国大力发展的产业。硅基薄膜太阳电池由于其低成本成为人们研究的热点，而作为其电极的透明导电氧化物也越来越受到人们的重视。在透明导电氧化物中，ZnO薄膜具有原材料丰富、价格低廉、在氢等离子体环境中稳定、制备工艺简单等优点，因此，开展ZnO薄膜的研究具有非常重要的意义。此外，柔性衬底太阳电池作为薄膜太阳电池的一种新品种，亦得到了越来越多的关注。首先，通过正交实验法优化孪生对靶直流磁控溅射工艺（以ZGO陶瓷靶为靶材）。在此系列参数下可以制备出高透过，低电阻的ZGO薄膜,且所制备的ZGO薄膜为多晶的六角纤锌矿结构，具有（002）择优取向，c轴垂直于衬底。其次，将制备出的性能最佳的ZGO膜在快速退火炉中进行不同氛围、不同温度的热处理，研究不同条件的热处理对其性能的影响。研究发现：N₂氛围和Ar₂氛围对ZGO薄膜的性能影响相似，均是随着温度的升高，ZGO薄膜的晶体结构得到了改善，透过率得到进一步的提高，电阻率变化不大。最后，将热处理过的ZGO薄膜应用到非晶硅薄膜太阳电池中，比较热处理前后的ZGO薄膜对非晶硅薄膜太阳电池性能的影响。得出：随着热处理后ZGO薄膜透过率的增加，非晶硅薄膜电池的转换效率也得到了相应的提高。此外，研究了不同厚度的ZGO薄膜对PEN柔性衬底的非晶硅薄膜太阳电池性能的影响。使非晶硅薄膜太阳电池的性能能够得到更大的改善和提高。发现：ZGO薄膜厚度为750nm时非晶硅薄膜电池的性能最佳。