钛扩散铌酸锂（Ti:LiNbO₃）光波导是所有基于铌酸锂制作的波导器件的核心元件。而近化学计量比Ti:Mg:LiNbO₃波导比同成分Ti:LiNbO₃波导有更多的优点,如它具有较低的非寻常折射率,更强的电光效应。近化学计量比Ti:Mg:LiNbO₃波导未来将会在无源和有源器件的开发中体现出新的应用。为了实现这一目标,我们应首先着力于研究制备近化学计量比Ti:LiNbO₃波导的方法。原则上,有3种可能的方法可以用来制备近化学计量比Ti:LiNbO₃波导。第一种方法是在近化学计量比LiNbO₃晶体上镀Ti条,但是Ti在LiNbO₃晶体中的扩散系数很低。第二种方法是Ti扩散与气相输运平衡（VTE）处理同时进行。第三种方法是先进行Ti扩散再进行VTE处理。前两种方法所需要的Ti扩散时间都相对较长,因此本文中使用了第三种方法制备近化学计量比Ti:LiNbO₃波导。本文完成的工作包括以下内容,利用标准的Ti扩散和VTE后处理方法制备出近化学计量比Ti:LiNbO₃单模（1.5μm波段）光波导。设计并建立了端面耦合系统,对所制备的近化学计量比Ti:LiNbO₃波导的TM和TE近场模式进行了采集并分析了模式特性,计算出该波导的TM和TE模式的传输损耗分别为1.0dB/cm和0.8dB/cm。利用二次离子质谱分析了波导区域Ti沿宽度和深度方向的分布可以分别拟合为两个误差函数的和与高斯函数。测量了该样品表面的紫外吸收边和双折射,对波导层Li2O的组分进行了分析,得到了有参考价值的结果。