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低温低膨胀封接玻璃的制备与性能研究
【摘 要】
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随着微电子技术的不断发展,许多电子器件的服役环境变得更为严峻。电子器件在不同环境条件下所需的高可靠性对电子封装提出了更高的要求,而封装所使用的材料更是其重中之重。针对某些器件需要较低封接温度(小于600℃)和与被封接材料相匹配的热膨胀系数(CTE,α≈3×10-6 K-1)的封装要求,本文采用了将低软化点的玻璃基体和负膨胀系数的陶瓷填料相复合的方法制备了满足封装要求的玻璃材料。首先选择热膨胀系数为
【出 处】
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南京航空航天大学
【发表日期】
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2020年01期
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