集成电路晶圆批量测试系统的设计与实现

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半导体产业近十年发展带来了许多全新的业务模式。纵向延伸的IDM(垂直整合制造)公司逐渐减少,而Fabless(无生产线)芯片设计公司却急剧增多。Fabless公司需要为测试代工厂加工的晶圆相应地建立一套完整的测试体系尤为必要。本文的研究工作主要是以上海华虹集成电路有限责任公司测试车间的晶圆批量测试平台为背景,对Fabless芯片设计公司的晶圆批量测试系统的开发与实现展开讨论。本文通过对Fabless芯片设计公司的晶圆测试的研究与分析,针对晶圆批量测试的多种类产品通用测试、生产管理控制等方面的需求,提出了脚本配置测试流程、服务器统筹管理等解决方案,采用C/S系统架构,以SQL Server为后台,前端应用MFC加以设计与实现。在多种类芯片产品的测试方面,采用TCL脚本语言为基础,并加以扩展,以测试脚本的方式实现不同种类芯片的测试流程。在生产流程控制方面,引入智能工序卡管理方法,由智能工序卡配合服务器共同完成生产工序的管理控制。在生产序列号管控方面,采用“服务器分配,客户端使用”的服务器统一管理的方式,实现生产序列号的统一调度的目的。在探针台测试动作控制方面,采用消息驱动的方式,实现其测试动作的完整流程。本文还对测试数据统计环节进行了详细论述,阐述了数据统计中各环节的具体实现方法。本文的研究意义在于,满足了Fabless芯片设计公司的在Foundry流片后的晶圆批量测试的需求,提高批量测试的效率。同时,加强对生产管理的控制。整套系统基本处于自动执行的状态,较少的需要人为的操作,具有很高的自动化程度。该系统现已投入使用,达到了设计要求,取得了良好的应用效果。
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