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表面形貌测量控制系统是表面形貌测量仪器的重要组成部分，负责仪器测量控制、数据采集以及数据分析。本文从工程实际出发，利用CPLD平台对表面形貌测量控制系统进行实现，既解决了原有测量控制系统中的问题，还满足了测量控制系统的低成本、高性能、实时化设计要求。具体包括以下工作：（1）对表面形貌测量控制系统功能进行分析，并根据需求设计系统硬件，包括CPLD主控电路和电源电路2部分，最后对电路系统进行抗干扰分析。（2）先后进行了CPLD软件设计部分、PCI驱动设计和测量软件设计，并对CPLD软件模块、PCI驱动程序进行软件仿真调试，初步验证测量控制系统的可靠性。（3）对测量控制系统进行实验验证，进行表面形貌测量实验和表面轮廓测量实验，并给出了测量结果，验证系统的可靠性。本文利用CPLD平台对表面形貌测量系统进行集成化设计，既满足了所有测量控制功能，还提高了系统稳定性，降低了成本，同时通过对PCI驱动和测量软件的优化设计，改变了原有测量方式，提高了测量效率。