随着现代制造业的发展，零件尺寸越来越趋于集成化、微小型化和智能化。按照产品的尺度特征，将1～1000μm的系统称为微系统。发展针对毫微米尺度的、能够加工金属及其合金材料的微细加工技术已成为微细制造领域的迫切要求。　　 脉冲激光辐照的电化学应力刻蚀加工技术，是将激光微细加工与电化学微细加工进行复合的加工方法。在工具阴极、电解液和工件组成的电化学回路中，以激光加工快速去除材料及钝化膜，同时利用纳秒脉冲电化学加工去除激光辐照区域内的工件材料，可以增强复合加工的定域蚀除能力，提高加工精度和加工质量，获得优质高效的加工效果。脉冲激光辐照的电化学应力刻蚀加工技术在航空航天、生物医学、精密仪器等微细制造领域有重要的发展潜力和应用前景。　　 本文以实现脉冲激光辐照的电化学应力刻蚀加工为目的，在脉冲激光加工与脉冲电化学加工的基础上进行了二者复合的理论及试验研究。　　 1.建立了脉冲激光辐照的电化学应力刻蚀加工的数学模型。在分析纳秒脉冲激光电化学复合加工基本原理及特点的基础上，研究了激光与电化学复合加工提高加工质量的机理，包括:引起工件表面钝化膜发生破坏-形成-再破坏-再形成的重复过程的热-力效应的产生过程。热-力效应促进电化学反应的机理，以及冲击力的分布、电偶电池、电化学的选择性光整效应对加工质量和加工效率的影响，为后续的加工试验提供了理论指导。　　 2.根据脉冲激光辐照的电化学应力刻蚀加工的特点，构建了激光电化学复合加工试验系统。该系统主要由激光器系统、电化学加工系统、电解液循环系统等组成。其中，电化学加工系统中的进给机构具备高分辨率、低速微进给、绝缘抗振等特点，为进行复合加工的试验研究奠定了基础。　　 3.进行了脉冲激光辐照的电化学应力刻蚀加工工艺试验。在7075铝合金材料上进行了复合加工试验，分析了激光频率、加工电流、激光能量、杂散腐蚀、运动稳定性等因素对加工效果的影响。应用优化的工艺参数成功加工出形状精度高、表面质量好的微细结构。通过观察微结构的形貌特征，分析了逐点加工和扫描加工两种不同方式的加工效果。　　 通过上述理论分析和试验研究，表明了脉冲激光辐照的电化学应力刻蚀加工可以实现激光加工与电化学加工的复合，能够获得较好的加工效果，该加工方法为轴类零件表面微米尺度的油槽、新一代汽车发动机燃油喷嘴的加工提供了新的技术途径。