纳米光纤探针作为近场光学显微镜和纳米光纤生物传感器中的关键元件，用于微小尺度物体的检测和分析。其制作方法会直接影响到工作性能，因此对制作方法的研究具有十分重要的意义，这也是本文研究的主要内容。 本文首先采用化学腐蚀法腐蚀光纤形成纳米光纤探针的锥形针尖，分析了腐蚀时间及腐蚀溶液浓度对形成的探针针尖形貌的影响，实验结果表明，制得的纳米光纤探针表面光滑，针尖尺寸在100 nm以内；然后采用化学镀膜法对针尖镀银，利用薄膜表面张力作用在针尖尖端产生通光孔径，分析了银盐溶液浓度和还原液浓度对膜层质量的影响以及镀膜时间对膜层厚度的影响，实验结果表明，制得的膜层表面光滑附着力强且在针尖尖端有通光孔径；为了改善所镀膜层的质量，在化学镀银的过程中引入超声波，极大改善了膜层的致密性和附着力，使膜层表面非常光滑，减少了膜层表面的“针孔”现象和膜层脱落现象。实验证明，采用化学镀膜法可实现对纳米光纤探针的镀银，超声波的加入则大大改善了所镀膜层的质量。