微波传输线是微波系统中的重要组成部分,MEMS传输线是MEMS元器件和组件的基础,是MEMS技术研究的重点之一。随着通信系统向低损耗、低功耗、高频率方向发展,对于MEMS传输线的性能提出了更高的要求,具有微型,低损耗特性的MEMS共面波导(CPW)传输线越来越受到重视,因此研究低损耗的MEMS共面波导在未来具有重要的意义。本文主要研究低损耗特性的MEMS共面波导传输线,主要内容以下几方面:1.介绍了微波传输线发展与研究概况,分析了共面波导传输线的等效电路模型、分布参数模型,并对共面波导的电磁场模型及损耗特性进行了深入的研究。2.分析了 MEMS CPW结构的传输特性和仿真方法,并对广泛应用的几种MEMS CPW结构进行了深入的分析和研究,在此基础上改进了一种MEMS微屏蔽CPW,设计并分析了一种椭圆形凹槽边缘悬浮的MEMS共面波导结构,利用微波仿真软件HFSS进行了模拟仿真,验证了该结构具有低损耗特性。3.分析了基于薄膜衬底结构的CPW损耗特性,重点研究了介质层尺寸和衬底材料对CPW损耗特性的影响,并通过微波仿真软件HFSS进行了仿真验证,总结了聚酰亚胺薄膜和二氧化硅薄膜结构对高阻硅衬底CPW损耗特性的影响规律,为后续CPW新型结构设计与损耗特性研究提供了参考和借鉴。本文创新点有:改进了 MEMS微屏蔽CPW结构模型,降低了 CPW损耗;提出了一种椭圆形凹槽边缘悬空CPW结构模型,实现了低损耗的CPW;提出了针对椭圆形凹槽CPW特性阻抗分析方法;总结了不同材料薄膜结构对CPW损耗特性的影响规律。