多种基材表面沉积类金刚石膜的结构与性能的比较研究

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该文用两种不同的沉积方法,在多种基材上沉积了功能不同的类金刚石(DLC)膜,对这两种功能膜的成分、结构及性能进行了测试和分析,并对其工业应用和产业化成果等问题作了初步的探讨.采用真空阴极电弧(VCAD)法在单晶体Si、金属Ti及不锈钢18-8上沉积了DLC超硬膜.利用二次离子质谱仪对该种DLC膜作了深度剖面分析.对VCAD的工业应用进行了探讨,用VCAD制备DLC/Ti复合扬声器振膜可明显提高扬声器在高频区的频率响应,改善扬声器的瞬态响应特性,具有广阔的市场前景<[注1]>.采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积(RF-PCVD)法在玻璃基材上沉积DLC透明保护膜,对该种膜的结构及力学.光学,化学性能进行了分析总结.对“塑料啤酒瓶”项目的镀DLC膜的工艺技术及膜层性能作了初步的研究讨论.制备DLC塑料啤酒瓶的最优工艺参数范围较宽,易于实现产业化.制备出的DLC塑料啤酒瓶,其阻隔性能大幅提高,基本达到“塑料啤酒瓶”的要求.
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