【摘 要】
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高分辨率层析成像穆勒矩阵椭偏仪结合双旋转型穆勒矩阵椭偏仪与高分辨率显微成像技术,使用大数值孔径物镜,在拥有纳米级纵向膜厚分辨率的同时,还具有高横向分辨率,在纳米测量中有很大的应用潜力。实验室研制的原理样机已能投入使用,但是缺乏配套的系统软件,依赖于各硬件厂商提供的原始控制软件,存在使用成本高、硬件调试操作复杂、数据采集分析效率低下的问题。针对这些实际工程问题,本文设计并开发了与实际需求相匹配的椭偏
【基金项目】
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国家自然科学基金重大科研仪器研制项目“高分辨层析成像穆勒矩阵椭偏仪研制与应用基础研究”（编号:51727809）； 国家自然科学基金面上项目“快照式成像椭偏测量原理与方法研究”（编号:62175075）； 国家自然科学基金优秀青年科学基金项目“纳米测量技术与仪器”（编号:52022034）； 湖北
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高分辨率层析成像穆勒矩阵椭偏仪结合双旋转型穆勒矩阵椭偏仪与高分辨率显微成像技术,使用大数值孔径物镜,在拥有纳米级纵向膜厚分辨率的同时,还具有高横向分辨率,在纳米测量中有很大的应用潜力。实验室研制的原理样机已能投入使用,但是缺乏配套的系统软件,依赖于各硬件厂商提供的原始控制软件,存在使用成本高、硬件调试操作复杂、数据采集分析效率低下的问题。针对这些实际工程问题,本文设计并开发了与实际需求相匹配的椭偏仪系统软件,主要研究内容包括:（1）从高分辨层析成像穆勒矩阵椭偏仪测量原理与样机系统出发,结合实际测量流程,明确了仪器的硬件控制和软件功能需求,完成了基于模型-视图-控制器（MVC）框架模式的仪器系统软件总体方案设计。（2）根据总体设计方案,按仪器控制需求与功能需求对软件进行了合理的模块划分与设计实现。采用多线程方法,为相机采集、数据保存、数据分析等任务创建独立线程,并组织各模块及线程,采用C++、QT编程语言开发了仪器系统软件。（3）基于已搭建的仪器原理样机,对开发的仪器系统软件开展了性能测试和功能验证,针对标准Si O2薄膜样品的测试结果显示,所开发的系统软件能够很好地辅助仪器硬件系统进行系统标定、数据采集以及测试结果分析等任务。本文围绕高分辨率层析成像穆勒矩阵椭偏仪系统软件的设计、开发、测试,完成了质量、可靠性达标的系统软件,满足椭偏仪系统的需求,为仪器提供软件支持。
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