【摘 要】
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氢化非晶碳薄膜(Hydrogenated amorphous carbon films,a-C:H)由于具有优良的耐磨性、生物相容性和化学惰性等特性,被用于金属人工关节表面改性,以有效减少金属人工关节的磨损和腐蚀。然而,在长期服役时,a-C:H薄膜中较高的内应力会导致其在服役过程中发生薄膜剥落的现象,限制了a-C:H薄膜的应用。掺杂Cu元素可以降低氢化非晶碳薄膜中的内应力,提高薄膜的膜基结合力。此
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氢化非晶碳薄膜(Hydrogenated amorphous carbon films,a-C:H)由于具有优良的耐磨性、生物相容性和化学惰性等特性,被用于金属人工关节表面改性,以有效减少金属人工关节的磨损和腐蚀。然而,在长期服役时,a-C:H薄膜中较高的内应力会导致其在服役过程中发生薄膜剥落的现象,限制了a-C:H薄膜的应用。掺杂Cu元素可以降低氢化非晶碳薄膜中的内应力,提高薄膜的膜基结合力。此外,研究发现,铜可以促进蛋白质在摩擦界面上的吸附,吸附在摩擦界面的蛋白质分子可以充当润滑剂,提高界面润滑。同时吸附在摩擦界面的蛋白质分子可以形成的蛋白质吸附膜,从而保护对磨副表面并降低界面磨损。在长时间的服役过程中,蛋白质分子在剪切力的作用下被降解并转变为石墨相转移膜,形成的石墨相转移层可以提高界面润滑,进一步降低界面磨损,从而阻止金属离子释放、避免金属磨屑的产生。作为过渡金属,铜可以加速蛋白质的降解并促进碳的石墨化,从而对界面处石墨相转移层的形成具有积极作用。这些研究表明,研究具有优异耐磨性、耐腐蚀性、和基体结合牢固的铜掺杂氢化非晶碳薄膜(Copper containing hydrogenated amorphous carbon films,a-C:H:Cu)应用于人工关节表面改性,可以有效降低人工关节磨损,提高人工关节寿命。本文采用高功率脉冲等离子体增强化学气相沉积(High-power pulsed plasma-enhanced chemical vapor deposition,HPP-PECVD)技术,在硅片Si(100)以及Co Cr Mo合金上沉积了a-C:H薄膜和铜含量分别为1.44 at.%、4.47 at.%和6.31 at.%的a-C:H:Cu薄膜。利用拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)以及透射电子显微镜(TEM)等研究了铜在薄膜中的存在形式及铜掺杂对薄膜成分、结构和化学键的影响;利用台阶仪、显微硬度计探究了铜掺杂对薄膜膜厚、应力的影响;利用水接触角测量仪、四探针电阻测试仪研究了不同的铜掺杂量对a-C:H:Cu薄膜表面能、电阻率的影响;利用销盘式摩擦磨损试验机(CSEM)研究了不同铜含量的a-C:H:Cu薄膜在空气、去离子水、磷酸盐缓冲液(PBS)以及白蛋白溶液(BSA)环境下的摩擦磨损行为。研究结果表明,当铜掺杂氢化非晶碳薄膜(a-C:H:Cu)中铜含量从1.44 at.%逐步增加到6.31 at.%,a-C:H:Cu薄膜中的sp~2键逐步增加;当薄膜中的铜含量不多于1.44 at.%时,掺杂的铜以非晶态弥散分布在非晶的薄膜中;当铜含量增加至6.31 at.%时,掺杂的铜以纳米晶的形式镶嵌在无定型碳基体中,形成铜纳米晶/非晶复合结构。氢化非晶碳薄膜(a-C:H)中掺杂铜,可以提高薄膜的疏水性、降低薄膜的表面能,但随着铜掺杂氢化非晶碳薄膜(a-C:H:Cu)中铜含量从1.44 at.%依次上升到6.31 at.%,a-C:H:Cu薄膜的疏水性下降,表面能变化趋势则相对不明显;与未掺杂的a-C:H薄膜相比,铜含量为1.44 at.%的a-C:H:Cu薄膜的应力、硬度、弹性恢复能力、韧性增加。对于a-C:H:Cu薄膜,随着薄膜中铜含量上升(1.44 at.%→4.47 at.%→6.31 at.%),薄膜的应力、硬度、弹性恢复能力、韧性下降;薄膜沉积在Co Cr Mo合金基体上,a-C:H:Cu薄膜(铜含量为1.44 at.%、4.47 at.%和6.31 at.%)比a-C:H薄膜具有较好的结合力。在空气中磨损时,由于磨屑的石墨化,铜含量为6.31 at.%的a-C:H:Cu薄膜的摩擦性能优于a-C:H薄膜;当薄膜在去离子水中磨损时,向a-C:H薄膜中掺杂铜,降低了a-C:H薄膜在去离子水中的摩擦性能;当薄膜在PBS及BSA溶液中磨损时,向a-C:H薄膜中掺杂铜,能有效地改善a-C:H薄膜在PBS及BSA中的摩擦性能。对于a-C:H:Cu薄膜,a-C:H:Cu薄膜在BSA中的耐磨性随铜含量的增加而降低(1.44 at.%→4.47at.%→6.31 at.%)。
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