音叉电容式微机械陀螺接口电路设计研究

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微机械陀螺和传统陀螺相比具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高等优点,在众多领域具有广阔的应用前景。微机械陀螺采用集成电路工艺和微细加工技术制造,尺寸微小,驱动和检测困难,目前接口电路的研究是微机械陀螺研究的重点和难点。本文针对音叉电容式微机械陀螺的接口电路设计、稳幅谐振、微弱信号检测和处理等问题开展研究。 1.设计了音叉电容式微机械陀螺开环和闭环两种驱动电路。开环电路采用方波加直流偏置的等效交流电压驱动陀螺振动,通过模拟分析了方波驱动形式对陀螺振动的影响;结合开环驱动电路
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