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微纳光学是利用微纳结构材料(micro-structure materials)作为实现光学功能元件的光学分支。一直以来,光学元件的减反射都依赖于多层膜结构,然而多层膜结构的激光损伤阈值较低,严重制约了大功率激光器的应用与发展。而通过在微结构材料上制备特定的微结构,能获得比多层膜结构透过率更高、激光损伤阈值更高的微纳增透光学器件,从而有效的用于高能激光系统。本文在熔融石英上设计和制造二维圆柱形亚波长光栅(two-dimensional cylindrical subwavelength gratin