【摘 要】
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设计和制作一种微结构气体传感器,使其达到350-400℃左右的温度,所需要的功耗最小。铂加热器嵌入到SiNx 中的微结构气体传感器被首先设计出来,通过对这种三明治结构的温度场
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设计和制作一种微结构气体传感器,使其达到350-400℃左右的温度,所需要的功耗最小。铂加热器嵌入到SiNx 中的微结构气体传感器被首先设计出来,通过对这种三明治结构的温度场的有限元分析。改进了设计,将加热器和信号电极做在一个平面上。并且只用SiO2 作为微结构传感器的绝缘绝热层。进一步对微气体传感器中的加热器和信号电极形状和宽度及其间距的设定。并且在基底厚度方面的分析,为进一步降低功耗提供了参考。通过光纤探测热辐射间接探测微结构传感器微区温度的方法,能够描绘出微结构传感器上的温度分布图。通过各向同性腐蚀和各向异性腐蚀对器件进行减薄加工,并且制作了微结构气敏元件测试仪。最终通过测试,所制作出来的微结构气体传感器功耗比传统传感器大大降低。
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