MEMS微型化、大批量、微电子和微机械结合的特点能够大幅度提高引信的性能,但是要真正在引信中应用面临许多问题,论文根据引信安全性设计准则,针对引信使用条件和性能要求的特殊性,综合运用微材料学、微固体力学、微流体力学、微机械动力学等细微尺度科学原理发展成果,对MEMS技术在引信安全装置中的应用的基本问题进行探讨和研究,对微机电技术在弹药引信安全系统中应用的基础理论及技术关键进行分析,其中包括微尺寸下引信MEMS安全机构基础理论及设计方法、微尺寸效应、引信MEMS安全机构结构在高冲击载荷作用条件下的动力学特性和失效机理建立相应的数学模型,对影响引信性能的阻尼特性、微摩擦等进行分析,同时对常见的失效形式如断裂、粘附进行分析研究,根据引信要求对所加工的引信MEMS安全机构进行抗冲击性能试验,对其性能进行分析,并且与理论分析结果进行对比,作为下一步引信MEMS安全机构改进依据。