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在太阳模拟器中,通常使用氙灯模拟太阳光谱,由于氙灯光谱与太阳光谱分布存在差异,所以研制一种滤光片进行氙灯光谱分布的修正。考虑到滤光片工作在强光辐照条件下,所以选用的材料必须具有低的吸收和高的抗能量阈值。采用电子束和离子辅助沉积技术进行膜层制备,选择合理的沉积方式并优化工艺参数使膜层表面光滑、牢固且通过抗能量测试,最终研制出的滤光片满足使用要求。