阻抗负载型声表面波传感器研究

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应用于飞行器的故障预测与健康管理对于现代军事具有至关重要的作用。飞行器结构中安装各种传感器是该技术的核心组成部分。无线无源传感器可以有效地避免电池更换与周期性维护,通过无线的方式进行信号传输,可使传感器免于复杂的布线设计,近年来得到国内外广泛研究。无线无源声表面波传感器可分为两种,第一种通过直接检测声表面波扰动实现对感知量的测量;第二种为阻抗负载型,将反射栅与外接传感器相连接,通过外接传感器阻抗变化实现对感知量的测量。本文以后者为目标对声表面波传感器展开了研究。本文对声表面波及声表面波传感器的各组成部分进行了理论研究,讨论了声表面波器件模拟与仿真方法,并应用耦合模理论对阻抗负载型声表面波传感器进行了仿真分析。传感器采用双通道结构,其中测试通道和温度补偿通道相互独立,使传感器具有温度补偿功能。介绍了声表面波器件加工工艺,并制作了一款用于应变测量的阻抗负载型声表面波传感器。文中给出了传感器仿真结果及矢量网络分析仪实测结果,实测结果与仿真结果较为一致。最后,构建了无线无源传感器应变监测系统。文中介绍了该系统的基本构成和工作原理,重点分析了传感器回波信号处理过程,并对传感器的无线传输距离,应变感知和温度补偿功能进行了实测。选用相位作为应变和温度测量基准,建立了应变-相位拟合曲线和温度-相位拟合曲线。通过分析数据处理结果,可得出结论:相位随应变变化明显;双通道结构对温度补偿具有一定的作用。
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