前驱体热解法制备硅基化合物纳米材料的形貌调控研究

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硅基化合物纳米材料是重要的半导体材料,因其独特的物理化学性能在纳米电子器件和光电子器件中有着广泛的潜在应用前景,其制备和应用研究一直受到国内外的普遍关注。本论文采用催化剂辅助热解有机前驱体聚硅氮烷在优化的条件下合成了多种硅基化合物纳米材料。这种方法简单,仅包括三个步骤:有机前驱体低温交联固化、球磨粉碎和高温热解。理论上,通过调节工艺参数如前驱体的组分、气氛、催化剂、热解温度等,可以得到不同形貌的纳米材料。当使用Fe粉和FeCl2粉作为催化剂时,在高纯氮气保护下,以10℃/min升温至12
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