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该文系统深入地研究了硅微机械谐振器件在光热激励下的理论及其技术,建立了较完善的理论分析体系,弥补了光热激励硅微机械谐器理论研究方面的不足,揭示了硅微机械谐振器在光热激励下的主要机理.该文对光热激励硅微机械谐振器件的电激电拾技术、光激电拾技术、电激光拾技术以及光激光拾技术进行了系统研究.
硅微机械谐振器光热激励理论及技术研究
【摘 要】
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该文系统深入地研究了硅微机械谐振器件在光热激励下的理论及其技术,建立了较完善的理论分析体系,弥补了光热激励硅微机械谐器理论研究方面的不足,揭示了硅微机械谐振器在光
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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西安交通大学
【发表日期】
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2001年期
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