针对目前其他雾化方式产生的水雾不均匀、雾滴粒度较大,导致加工过程中短路率高,加工过程不够稳定的问题,采用超声雾化方式产生均匀、微细的雾介质用于放电加工,并在工件端施加超声振动以减少短路率,实现稳定加工。在基于内喷雾电火花加工试验中,首先进行气液两相流在电极管中的流型分析与仿真,分析放电间隙中的气压以及雾滴的轨迹,确定了放电加工是在雾介质非水中进行。工艺试验结果表明,选取去离子水取代原来的自来水作为雾介质的水源可以改善放电状态。采用辅助超声振动进行铣削加工,使得短路率大大降低,材料去除率以及电极损耗率也有所提高。本文进一步尝试了侧向喷雾的加工方式。试验结果表明:侧向喷雾电火花加工中工件表面的电蚀产物排除比较充分,短路率大大低于内喷雾的短路率。但是在小脉冲的条件下,电极损耗率比较高,加工表面被铜覆盖。通过对比试验,侧喷加工中的白层厚度为相同条件下油中加工的三分之一,表面也几乎没有裂纹。为了进一步提高加工效果,辅助超声振动装置,协助排屑,对表面质量有一定的改善。