真空气相成膜法分为物理气相沉积法和化学气相沉积法。由于它具有膜层牢固、膜厚均匀、纯度高、不产生对环境污染的废液等特点,在薄膜制备和研究中,得到了广泛的应用。本文的主要工作是特种成膜设备的真空容器研制,在对特种成膜设备物理要求与真空容器设计要求分析的基础上,完成了复杂的大型矩形箱体式真空容器的结构设计与真空系统的设计,包括选定主材、冷却方式、结构形式,利用Pro/E软件完成了复杂的真空容器详细结构设计等。在真空系统设计方面,则包括主泵选型及抽速确定,提出主泵返油污染的控制技术,选配了前级泵组,估算了抽气时间等。使用APDL优化方法确定真空容器的主要强度尺寸:夹套内外两层的壳体厚度S1,S2,加强筋的厚度S3,前面门板的厚度S4,得到了优化后的结果,大大的节约了贵重的不锈钢材料,减低了成本。随研究工作的进展,真空容器的结构变得越来越复杂,传统的计算方法根本无法对其应力分布和强度情况进行较为准确的分析。本文应用有限元分析法这一先进的技术对特种成膜设备真空容器进行了分析,根据优化计算此建立了三维实体模型,导入有限元分析软件ANSYS中进行了强度和稳定性分析,通过分析计算得到了容器不同工况下的变形、应力、应变的分布情况,以及一阶临界载荷。并依据JB4732—1995《钢制压力容器—分析设计标准》对容器进行了评定,提高真空容器结构设计的可靠性和经济性。