基于磁流变液的无冲击阻尼固紧系统

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【摘要】

：

本学位论文选题来源于国家自然科学基金项目-基于并行像散共焦探测原理的微结构三维形貌测量基础研究(批准号:50775063)。应用于微型器件三维形貌测量的纳米三坐标测量机要求工作台具有纳米级的定位精度,传统固紧方法带来的冲击和直线电机的各扰动因素都使工作台达不到纳米级精度定位。磁流变液是一种智能材料,在外部磁场作用下,可在毫秒级时间里由液态转变为固态,当没有磁场作用时又能由固态转变回液态,因此磁流变

【作者】

：

马文平

【机构】

：

合肥工业大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

磁流变液柔性阻尼无冲击固紧纳米定位

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