水溶液中电化学沉积类金刚石薄膜的研究

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类金刚石薄膜(DLC)因其各项特性都与金刚石薄膜极为相似,因此可以被应用至诸多领域(化学、光学、电学、摩擦学等)。同时类金刚石薄膜的制备工艺流程和其制备时所需的工艺条件都比制备金刚石薄膜所需的条件更为简单、节能。多种方法可用于制备类金刚石薄膜,其中电化学沉积技术因其设备简单、操作便捷、可规模化生产等优点引起了广大关注。目前电化学沉积制备DLC薄膜仍存在不足,如薄膜内部残余应力过大、不耐热、与基材的附着性较差等,使关于其的研究受到了极大的限制。本文以氯代羧酸水溶液为电解液,在水溶液中电化学沉积DLC薄
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