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金刚石薄膜由于其优异的力学性能,而被广泛应用于各种耐磨涂层,金刚石涂层刀具成为金刚石薄膜工具应用研究的主流。但金刚石涂层结合强度低,制约了金刚石涂层刀具的产业化。本研究采用热丝CVD法在YG6基片上沉积金刚石薄膜。通过对热丝CVD沉积过程中工艺参数的控制,制定在硬质合金基体上沉积高的膜基结合强度、晶粒择优取向的金刚石薄膜的最优参数,对于实现CVD金刚石涂层刀具高效、高精度切削加工具有重要意义。实验得到如下结论: (1) 甲烷浓度对金刚石薄膜的表面形貌和膜基结合强度有重要的