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气体挤压膜悬浮平台是利用压电陶瓷晶体沿法线方向的高频振动,使压电陶瓷晶体与被支承面之间的气体不断受到挤压,从而形成压力气膜,产生承载能力的支承元件。此平台具有摩擦小,无污染,产生热量小,运动精度高等优点,可用于精密仪器以及微电子加工行业。研究和分析该平台的可行性及使用性能具有很大的意义。本课题首先建立了平台的完全动态气膜数学模型,然后采用数值差分方法对模型进行化解,运用FORTRAN语言编程,得到气体挤压膜的压力分布、承载能力、刚度及阻尼等静、动态参数与压电陶瓷的尺寸半径、驱动频率、气膜初