太赫兹由于其自身的特殊物理性质而在生物医疗、无损检测、安检和无线通信等领域有广阔的应用前景。高效太赫兹源的出现,加快了太赫兹技术在各领域的应用脚步,而相关技术的快速发展又对太赫兹调制器件提出了更高的要求。近些年来,如何利用太赫兹器件实现对太赫兹波灵活且高效的操纵已成为了众多学者的研究热点。在此背景下,本文以太赫兹振幅和偏振调制器件为研究方向,结合超表面结构和具有可逆的金属——绝缘相变特性的二氧化钒（VO2）,提出了三种基于VO2的太赫兹振幅/偏振调制超表面结构,并进行优化设计和分析。首先,提出了一种基于VO2吸收率可调宽带太赫兹超表面吸收体。经过电磁场仿真软件HFSS优化设计,可通过温控嵌入在元胞中正十字单元间隙内VO2的相变,实现吸收体吸收率从50%到98%的二级调节,且大于90%的吸收带宽达到0.75THz;采用阻抗匹配理论和分析表面场及电流分布,研究了吸收体的吸波机理,并讨论了吸收体偏振不敏感和宽角度入射的特性。其次,提出了一种基于VO2窄带可开关太赫兹超表面滤波器。采用电磁场仿真软件CST优化结构设计,通过电控VO2相变方式,实现滤波器在“开”和“关”两状态间切换。在“开”态时,滤波器最高透射率为92%,对应的-3d B带宽为0.14THz;而在“关”态时,透射率在整个仿真频段内接近0。通过分析表面场和电流分布研究了滤波器的传输机理,并给出了滤波器的等效电路模型。采用微加工工艺制备了滤波器样品,并利用太赫兹时域光谱仪测试其透射率,测试结果与仿真结果具有良好的一致性。最后,提出了一种基于VO2宽带可切换多功能超表面。经过CST仿真优化,通过电控超表面结构中VO2的相变,实现了超表面在波吸收和线极化到线极化偏振转换功能间的功能切换。同时,基于结构的尺寸调整,还实现了线极化到圆极化的偏振转换。结合偏振转换理论和仿真所得反射电场的大小及相位差,分析了多功能超表面的偏振转换机理,并利用阻抗匹配理论和电流分布、截面场分布分析了吸波机理。最后,研究了超表面在两种功能下的偏振不敏感和广角入射特性。