【摘 要】
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该文针对材料气相制备装置中存在的一些实际问题,从气体流量计量和控制以及热辐射热源的温度控制入手,采用理论分析和实验验证方法,探讨了采用机械节流方法进行气体流量计量
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该文针对材料气相制备装置中存在的一些实际问题,从气体流量计量和控制以及热辐射热源的温度控制入手,采用理论分析和实验验证方法,探讨了采用机械节流方法进行气体流量计量和控制的可行性,提出了节流设计要点,分析了影响计量精度的要素.通过实验验证了设计的合理性.在对热辐射式热源特性进行认真分析的基础上,提出采用电流控制电路控制热源电流并使之保持恒定的思路.通过实验验证了这个方法的可行性.研究结果表明:机械节流阀完全可以用于材料气相制备系统进行气体流量的计量和控制,其计量和控制精度可以达到流量计的水平.利用电流控制方法,能够很好地解决热辐射式热源的温度变化问题,为保证热解系统温度稳定提供了技术途径.
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