惯性导航系统对陀螺仪精度的要求越来越高,而硅微陀螺仪有着高集成度、高分辨率、低成本、低功耗等一系列传统陀螺仪无法相比的优点,因此硅微陀螺仪常常在卫星定位以及温度测量等方面被大量使用。为实现硅微陀螺检测到的信号在系统中被精确处理,需要设计高性能的模数转换器(ADC)。而Delta-Sigma ADC由于采用过采样技术与噪声整形技术而具有高精度的特点,而且Delta-Sigma ADC中大量使用数字电路,模拟电路所占比例下降使Delta-Sigma ADC不易受到环境噪声的干扰,更容易实现高精度。除此之外,Delta-Sigma ADC还拥有线性度高,抗干扰能力强,对器件的匹配度要求较低等优点。以上特点使Delta-Sigma ADC拥有高性能进而可以用于硅微陀螺检测电路中。本文针对硅微陀螺检测电路设计了一款Delta-Sigma ADC。本设计规划指标如下;(1)能够处理频率为6k Hz～20k Hz的信号;(2)带宽范围80Hz内信噪比(SNR)超过100d B;(3)整体的功耗要小于25m W。实际设计中首先使用matlab数学建模,然后基于SMIC0.18um的工艺设计了Delta-Sigma ADC中需要的开关电路、放大器、比较器、时钟、加法器等,其次遵循对称匹配的原则进行版图的布局和布线设计,最后采用SMIC0.18μm CMOS工艺完成了电路设计、进行仿真和测试。结果表明:在输入信号为1.5V直流信号时,Delta-Sigma ADC噪底在-100d B以下;在输入为12.5k Hz正弦信号且带宽为80Hz,SNR超过100d B,且功耗为15m W。测试结果与设计结果存在微小差异,但整体性能良好。