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传统的机械光开关速度慢、体积大、不易大规模集成,难以适应光传送网的传输要求,这限制了其在未来光通信领域的应用。新型的以微电子机械系统(MEMS)为基础的微机械光开关成为大容量交换光网络开关发展的主流方向。本文介绍了关开关的工作原理,分析了静电驱动扭臂式MEMS光开关的运动过程,运用拉格朗日运动方程建立了其数学模型,并运用解析分析法和有限元分析法两种分析方法对扭臂式光开关进行了模态分析,验证了数学模型的正确性。在此基础上,通过仿真分析,得出了各种结构参数对静电驱动扭臂式MEMS光开关性能的