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太赫兹波(Terahertz,THz)是一种波长在0.03mm-3mm、频率在0.1-10THz之间的电磁波,频率范围介于微波和红外光波之间。随着THz波源技术与探测技术的快速发展,THz通信技术也得到了极大的发展,THz功能器件的性能也必须相匹配。本文设计了三种THz功能器件并测试其性能。本文主要研究内容如下:1、提出了一种聚酰亚胺(PI)柔性材料作为衬底的超材料滤波器,使用CST MWS软件进行仿真,在0~1.5THz频段共有两个通带,中心频率分别为0.53THz和1.23THz,透射率分别为0.88和0.97,带宽分别为30%,50%,与硅衬底相比,带宽与透射率都大大增加,但是频点会相应的右移,并且随着PI衬底厚度的增加,三个中心频率向左移动。本文详细的探索了器件的制备工艺,最终采用光刻工艺制备了尺寸误差均在合理范围内的器件,采用THz-TDS系统对结构进行透射测试,测得硅衬底滤波器经具有2个通带,中心频率分别为320GHz和1150GHz,透射率分别为0.5和0.6,带宽分别为30%和50%;PI衬底滤波器具有两个通带,中心频率分别为450GHz和1175GHz,透射率分别为0.4和0.95,与硅衬底结构相比,频率分别右移了130GHz和20GHz,并且透射率有明显的改善,与仿真结果基本相符。2、提出一种基于开口谐振环结构(SRR)的双开口谐振单元组成的滤波器,使用CST MWS软件进行仿真,设计了滤波器的结构。加工的成品经测试,在0.33 THz出现一个高通谐振峰,透过率达到0.9,3 dB带宽为72%;另一个高通谐振峰在1.12 THz,透过率达到0.86,3 dB带宽为48%。3、锶铁氧体极化偏转性质的探索:以五种不同的烧结温度制备了锶铁氧体,采用THz-TDS测试系统对样品进行THz波透射测试,表明THz波透射率会随着烧结温度的增加而降低。另外,本文搭建了THz无线收发系统,并测试了样品在该系统下的透射率及极化偏转角,材料的极化偏转角随烧结温度的增加有缓慢增加的趋势。