掺杂Sr<,2>Bi<,4>Ti<,5>O<,18>薄膜铁电性能研究

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【摘要】

：

本论文着重于Sr_2Bi_4Ti_5O_(18) (SBTi)层状钙钛矿铁电薄膜的制备及其掺杂后的薄膜材料的微结构、铁电、疲劳性能的研究。这些研究对于指导设计有实用性能的用于非易失性铁电随机存储器的新型铁电材料有一定的指导作用。本文首先报道了用溶胶-凝胶法在Si /SiO_2 /Ti /Pt基片上制备了性能优良的SBTi铁电薄膜材料。X射线衍射、扫描电子环境和原子力显微镜分析表明了所沉积的薄膜具有

【作者】

：

方洪

【机构】

：

扬州大学

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

铁电性能铁电材料薄膜材料溶胶凝胶法

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