超精密绝对光栅尺结构设计及其静态读码误差分析

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随着现代加工制造业的高速发展,制造领域对加工精度的要求越来越高,与之相关的科学技术计量学也得到了长足的发展,以光栅尺为代表的栅式测量设备在现代科学技术中起到了关键性的作用。光栅尺作为机加工中的闭环控制系统,有着精度高、抗干扰力强等优点,但同时也有着开机须找零位操作、断电后不能保留读数等不足之处,因此,绝对式光栅尺应运而生。本文提出了一种新的绝对光栅尺编码方法,并将其应用于绝对光栅尺的设计与制造中。首先,在分析了国内外光栅尺的研究现状的基础上,提出了拥有自主知识产权的绝对光栅尺编码的方式方法,讲述了该
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