微机械陀螺是一种有效的角运动检测装置，有着非常广泛的应用范围。微机械陀螺传感器主要包括传感器结构与传感器接口电路两部分。在其接口电路当中，数/模转换器的精度对于接口电路输出驱动信号精度有着显著的影响，可以实现微机械陀螺的闭环控制。因此，设计一款高精度的DAC在数字陀螺集成电路的设计当中具有非常重要的意义。而Delta-SigmaDAC比起其他结构DAC可以在较低的硬件消耗下获得较高的精度，不仅可以应用于数字陀螺集成电路中，还在音频处理、信号处理上有着广泛的应用，是数模混合集成电路研究的一大热点。　　本文内容从阐述Delta-SigmaDAC的结构与工作原理开始，对各个子模块分别进行了系统级设计和电路级设计。主要包括：2-1-1MASH结构Delta-Sigma数字调制器、二阶DWA算法模块、改进的开关电容型低位DAC以及连续时间低通滤波器等。整体设计通过Delta-Sigma数字调制器将信号进行整形，经过二阶DWA算法模块抵消多位量化会遇到的非线性误差，再传递给开关电容型DAC和模拟低通滤波器将其还原成不含量化噪声的模拟信号量。完成总体设计后，对系统进行了数模混合信号仿真，验证了整体功能符合技术指标的要求，并完成了整体版图的工作，并进行了后仿真。　　本文基于HHGrace0.35μm工艺完成了一款可以应用于MEMS陀螺仪驱动电路部分中的高精度Delta-SigmaDAC的版图设计并且进行了后仿真，信号带宽20kHz，时钟频率6.4MHz，数字前端部分的有效位数达到了24.79位，最终获得的动态范围达到了106dB。