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MOSFET (MOS场效应管)具有集成度高、功耗低等优点,随着其尺寸不断的按比例缩小,MOSFET的截止频率不断提高,最高达到上百吉赫兹,目前已被广泛应用于射频集成电路和无线通信领域中。但是,随着工作频率的提高,MOSFET器件本身所产生的噪声会逐渐显现从而成为影响整个系统灵敏度、动态范围和信噪比的一个重要因素。因此,深入了解MOSFET的噪声机制是十分必要的,小信号噪声等效电路模型表征了器件的高频噪声特性,利用该模型不仅可以指导电路设计者将电路设计的更加合理,而且可以指导芯片制造者作出更高性能的器件,因此射频MOSFET噪声测量以及基于模型参数的噪声参数提取技术已经成为近几年国内外的研究热点。对MOSFET噪声理论、噪声测量和噪声参数提取技术进行了研究,因为噪声等效电路模型是建立在器件小信号等效电路模型基础之上的,首先,使用开路短路法剥离掉焊盘和互连线的影响从而得到器件的本征元件值,并通过半分析法得到模型的小信号参数并验证。在精确的提取了小信号模型参数之后,利用分析法直接计算可以得到较精确的噪声参数值,尽管如此,基于本实验室测量系统,为了得到更加精确的结果,本文在噪声参数分析法和小信号参数提取半分析法的基础上提出了一种新型的噪声参数提取方法,即基于无调谐器的50欧姆噪声测量系统的噪声参数半分析法,其结果与直接测量法结果拟合的很好。设计并实现了噪声系数自动化测试系统,包括噪声系数测量原理,硬件的搭建、软件的结构与框图四个部分。其中硬件部分由噪声系数分析仪N8975A,网络分析仪E5230A,信号发生器E4438C,噪声源N4002A,直流源E3631A,GPIB连接线以及PC机等组成；软件由VC++6.0编写实现,人机交互界面友好,易于操作,具有校准、测量、数据存储及显示等基本功能以及测试模式设置和数据处理等高级功能,可用于无源器件、放大器、混频器等射频器件的测量以及扩频测量,通过嵌入上述章节讨论的噪声参数提取算法,可以很方便的得到噪声参数值。