双波长全息干涉测量非球面元件的研究

来源 :北京机械工业学院 北京信息科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sanmumuren
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该论文从双波长全息干涉术的基本理论出发,对该技术在非球面检验中的应用作了有益的探讨.对最佳拟合球面及双波长全息干涉条纹的判读与处理作了理论分析;采用马赫-曾德尔和改进的泰曼-格林干涉系统,用双波长全息单次曝光法和双曝光法分别对非球面透镜及反射镜作了测试,比较了单波长和双波长全息干涉以及双波长单次曝光法和双曝光法的不同;对所得的干涉条纹作了计算机判读与处理,并编写了相应的程序.通过以上工作,从理论上及实践上证明了双波长全息干涉术检验非球面元件的可行性.双波长全息干涉术在测量领域内具有广泛的应用前景.
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