随着半导体行业中集成电路和功效器件变得越来越小,其中包含的微通道越来越多,这对微通道表面的洁净度要求也越来越高。如果微通道表面不洁净或有损伤,后续的工艺将无法进行,每年因清洗问题造成的损失达到总体损失的一半,绿色清洗技术已经成为影响着该行业发展的关键技术。以超临界二氧化碳做为绿色清洗溶剂清洗微通道中的微细颗粒,能够克服传统清洗方法带来的诸多缺点。因此很有必要展开对微通道中超临界二氧化碳流动特性及其对微细颗粒作用的模拟分析工作。本文首先借助COMSOL Multiphysic软件采用连续性方法对微通道中介质为水的流动特性进行数值模拟,将结果与已有文献中的实验结果进行对比。然后在对比结果一致的情况下,利用该方法对微通道中超临界二氧化碳的流动特性进行模拟。研究包括不同雷诺数和微通道结构对流体的动力进口长度与阻力特性的影响,并将结果与宏观流动进行比较以发现不同。接着以单个微细颗粒为对象分析其在微通道中的受力,通过模型简化,研究清洗过程中超临界二氧化碳对微细颗粒的作用。模拟得到在不同颗粒大小、流动雷诺数、环境压力下微细颗粒升力特性、惯性聚集位置、颗粒速度分布等的变化规律。为实际工程中超临界二氧化碳绿色清洗的优化提供一定的依据。