半导体激光器及其列阵光纤耦合模块的研制

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半导体激光器及其列阵的输出光束是椭圆高斯光束,在垂直于p-n结平面方向(快轴)上,发散角(全峰值半宽度)约为30°~40°,而在平行于p-n结平面方向(慢轴)上的发散角约为6°~12°,快轴方向的发散角远大于慢轴方向的发散角,因此,用一个简单的透镜无法实现快轴与慢轴方向的同时聚焦。而大多数实际应用中,为了获得较好的光束质量,需要将半导体激光器及其列阵与光纤耦合输出,因此,研制半导体激光器及其列阵的光纤耦合输出模块,成为一个复杂而又刻不容缓的技术问题。 本文根据半导体激光器及其列阵的光束特性,分别采用不同方法研制出了高效高功率的光纤耦合模块,其主要内容如下: 1.对条宽为100μm,发光区厚度为1μm的高功率半导体激光器,采用双曲面微透镜将其与芯径为50μm的多模光纤耦合时,耦合效率为80%。 2.对上述激光器采用芯径为200μm,数值孔径为0.22,芯层折射率为1.61的光纤柱透镜准直后与同样规格的多模光纤进行耦合时,耦合效率最高可达88%,光纤输出功达2W,并用ZEMAX软件进行了仿真设计。 3.利用双曲面微透镜列阵进行19个发光点的半导体激光器与包含19根光纤的光纤排耦合,然后将光纤集束,可以达到75%的耦合效率;为了获得更高的光功率密度,我们利用聚焦透镜将光纤束输出的光耦合进一根400μm的多模光纤中,从而获得了2×10~4W/cm~2的光功率密度和25W的光输出功率。 4.利用光纤柱透镜进行半导体激光器列阵与光纤排的耦合,获得了78%的耦合效率。 5.利用微光学元件(BTS与HOC)将具有19个发光单元的cm条激光器耦合进芯径为400μm、NA=0.22的单根光纤中时,获得了64%的耦合效率。
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