干冰微粒喷射清洗法是一种新型的精密清洗技术,它不使用水和化学药品,无毒无害,而且不会引入二次污染,也是一种绿色环保的清洗技术,在电子器件的清洗方面有良好的应用前景。然而在实际清洗过程中,被清洗表面会在短时间内形成一层半透明白色物质覆盖层,阻碍了干冰射流与被清洗表面的接触,进而影响清洗洁净度。为解决这一问题,以提高干冰微粒喷射清洗法的清洗洁净度,本文进行了如下研究:1.分别从硬件和软件两个方面对现有的接触角测量仪进行了改进:硬件方面:设计了一个7×7阵列的LED背光源,该背光源不仅可以发出较均匀的光,而且实现了亮度可调,可以消除外界光源对拍摄表面液滴图像照片的影响。软件方面:针对被清洗表面液滴图像的特点,设计和编写了一个测量表面液滴接触角的图像处理软件。结果表明,该软件测量接触角的结果的误差值均小于2度。2.利用质谱法对干冰微粒喷射清洗过程中产生的覆盖层的成分进行分析,结果表明覆盖层的主要成分为二氧化碳和水,其产生机理主要是干冰射流的温度太低,使射流中的干冰微粒以及空气水份凝结在被清洗表面造成的。3.采取提高被清洗表面的温度来减弱和消除覆盖层的方法,并对此方法进行了实验研究。4.利用正交试验设计方法研究了喷射源气体的压强、被清洗表面的温度、喷射距离、喷射时间、喷射源气体纯度等因素对清洗效果的影响,并在此基础上增加各因素的水平,利用均匀试验设计方法建立了因素与试验指标的回归方程,确定了最佳工艺参数。5.研究了在干冰射流外层加保护气体的方法对覆盖层现象及清洗洁净度的影响。