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负电子亲和势(NEA)光电阴极由于其优越的性能,在近几十年中取得了迅猛发展,已广泛用于第三代、第四代像增强器中。我国NEA光电阴极的研究距离国外先进水平差距较大,寻其原因除了资金投入不足,相关技术落后等因素外,缺乏对每一环节有效的测试分析手段和监测控制方法是制约我国阴极发展缓慢的一个重要原因。本文正是从这一原因入手结合国家项目开展了NEA光电阴极激活及性能测试技术的研究,主要内容如下: 首先,论述了NEA光电阴极的发展现状并对其描述参量做了介绍。 其次,论述了NEA光电阴极的光谱响应测试原理,重点介绍了国内首台光谱响应测试仪的研制;对XPS表面分析技术进行了介绍,提出了一种基于小角度的变角XPS定量分析算法。 最后,主要介绍了光谱响应测试技术在NEA光电阴极激活工艺中的应用,并在国内外首次对三代管均匀性和光照下的稳定性进行了研究。