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本研究以无水四氯化锆为锆源,正硅酸乙酯为硅源,乙醇为溶剂,氟化锂为矿化剂,采用非水解溶胶-凝胶法在晶面取向为(100)的N型单晶硅基片上低温制备出硅酸锆薄膜。运用DTA-TG、XRD、FE-SEM和FTIR等测试手段研究了过滤工艺、溶剂种类、前驱体浓度和热处理制度对硅酸锆低温合成效果的影响,同时还研究了过滤工艺、溶剂种类、前驱体浓度、干燥温度、热处理制度和镀膜工艺参数(如浸渍-提拉速度、镀膜次数)对成膜质量的影响。在此基础上引入表面活性剂,提高了溶胶的稳定性,同时改善了溶胶对硅基底的润湿性,系统研究