TiO2薄膜由于具有光催化活性高、化学性能稳定、安全无毒以及成本低廉等优点，作为环保型光催化材料在环境工程、生物医学、材料科学以及人们的日常生活等领域中都有着广阔的应用前景。本实验采用射频反应磁控溅射法在医用载玻片上成功的制备了TiO2薄膜，并对TiO2薄膜的性能进行了研究。考察了氧分压、基片温度、退火温度、水热处理温度及时间对TiO2薄膜性能的影响。用X射线衍射(XRD)研究了TiO2薄膜的晶体结构，用原子力显微镜(AFM)观察了TiO2薄膜的表面形貌，用紫外可见分光光度仪测试了TiO2薄膜对光的透光率和吸收峰的位置，用20W的紫外灯研究了TiO2薄膜对甲基橙降解率。研究结果表明： 1.TiO2薄膜在不同的氧分压条件下保持很好的锐钛矿型晶体结构和100nm左右的晶粒，薄膜具有很好的透光率，把氧分压在1.6Pa时制备的TiO2薄膜样品浸在甲基橙溶液中，经紫外灯照射75min后，对甲基橙的降解率达到了85％。 2.随着基底温度的升高，TiO2薄膜的锐钛矿型晶体结构逐渐减少，金红石型晶体结构逐渐增多，薄膜的晶粒有所长大，薄膜具有较好的透光率，对甲基橙溶液的降解率稍有下降。 3.TiO2薄膜在不同的退火温度一直保持锐钛矿型晶体结构，退火温度对TiO2薄膜的晶粒度有较大的影响，退火处理后的TiO2薄膜具有较好的透光率。 4.水热处理温度和时间对TiO2薄膜的晶粒和薄膜的透光率有很大的影响。150℃水热处理4h时，TiO2薄膜为纳米尺度的柱状晶粒，其平均透过率为70％左右。180℃水热处理8h的TiO2薄膜已经变得非常模糊，透光率较差。