【摘 要】
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微纳器件在电子信息、航空工业、生物医疗等领域得到了广泛应用,开展微纳加工相关研究工作对于促进微纳器件的进一步发展具有重要意义。本文面向高性能、高精度微纳刻划系统的迫切需求,开展振动辅助微纳刻划系统设计、性能分析及实验研究,全文主要工作如下:完成了振动辅助微纳刻划系统的研发,设计和分析了系统两大核心部件微定位器和探针刻划系统。微定位器采用新型混合放大机构以获得紧凑的结构、较大的横向刚度与良好的动态性
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微纳器件在电子信息、航空工业、生物医疗等领域得到了广泛应用,开展微纳加工相关研究工作对于促进微纳器件的进一步发展具有重要意义。本文面向高性能、高精度微纳刻划系统的迫切需求,开展振动辅助微纳刻划系统设计、性能分析及实验研究,全文主要工作如下:完成了振动辅助微纳刻划系统的研发,设计和分析了系统两大核心部件微定位器和探针刻划系统。微定位器采用新型混合放大机构以获得紧凑的结构、较大的横向刚度与良好的动态性能,并使用新型凹面配合方式,为驱动器提供良好的限位和自动对心功能。探针刻划系统采用金刚石探针与十字柔性梁
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在实际的工业环境中,齿轮箱由于工作强度高且工作环境恶劣,在使用过程中容易发生故障。对齿轮箱的振动信号进行分析是一种实用且有效的检测故障的方法。但使用传感器采集到的振动信号不仅包含齿轮、轴承等关键部件的耦合振动信息,还包含背景噪声及其它干扰信息。尤其是齿轮箱同时发生多种故障时,对齿轮箱故障的检测与诊断更为困难。本文针对机械设备中的多故障问题提出了基于空间时频分布(STFD)的欠定盲源分离方法,并将其
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离心压缩机作为一种关键的动力机械在化工、汽车、冶金等行业内占有重要地位。随着现代工业的持续发展,对单级离心压缩机提出了更高需求,叶轮转速也随之增高,给压缩机运行的稳定性及工作范围带来挑战。为保障压缩机在高压比条件下的高效率、宽流量和稳定工作范围,发展出了诸多压缩机扩稳技术,预旋与自适应机匣处理是其中重要的两种方法。本文从预旋着手,探究其对压缩机性能的影响机理,并将预旋与自适应机匣二者结合分析对压缩
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